半导体设备最容易被看见的是整机厂，最容易被忽略的是零部件。一台半导体设备 80% 到 90% 的成本来自零部件和原材料，整机厂本质上更像集成商：设计工艺、整合上千个零件，让机器稳定跑起来。

真正的问题是，设备下面这一层直到 2026 年才开始在半年度业绩预告里集体露面。表面看，有公司从去年全年亏损 861 万元，到今年上半年赚 1.2 到 1.5 亿元；但把 15 家公司拆开看，繁荣并不均匀，分化才是主线。

一、整机厂创造工艺，物理成本大多来自零部件

券商口径里，零部件和原材料占设备企业营业成本的八成到九成，设备成本九成以上是精密零件。国际设备公司毛利率大约 40% 到 45%，它们的价值不是把每个零件都自己生产出来，而是把零件、工艺、控制系统和稳定性整合成可交付设备。

但零部件内部差距很大。国际同行里，真空阀件公司毛利率超过 60%，气体输送模组公司只有十几个点，还有公司的产品业务毛利率约 14.6%，服务业务约 30%。同样叫零部件，商业质量可以差四倍。

所以讨论“设备本土供应比例 35%”时，要先问清楚：这是整机层面的比例，还是整机内部关键零部件的比例。成熟制程和非核心件可能已经过半，七纳米以下核心零部件仍然很低。

二、十类零件背后，是十几家公司的分工地图

半导体设备零部件至少能拆成十类：腔体、内衬、匀气盘等金属结构件；陶瓷加热盘和静电吸盘；石英件；硅零部件；等离子体射频电源；真空泵；气体管阀和气柜；温控与工艺废气处理；零件清洗和表面再生；高纯工艺系统。

这些环节对应不同公司，也对应完全不同的壁垒。金属结构件更偏精密制造；陶瓷加热盘和静电吸盘难在材料、真空和温控；射频电源难在等离子体控制；真空泵和气体系统则要求长期稳定性和客户验证。

一台设备的成本，就是被这些公司拆走的。但这不代表所有零部件公司都能同步赚钱。谁进入核心环节、谁完成客户验证、谁能批量供货，才决定利润落点。

三、五家半年预告看似好，但含金量不同

已经发布半年预告或快报的五家公司里，富创精密上半年营收预计 21 到 25 亿元，净利 1.2 到 1.5 亿元，受益于订单增长、规模效应和综合毛利率提升，同时上年同期只有 1,227 万元的低基数。

江丰电子净利预计 4.8 到 5.6 亿元，菲利华营收 12 到 14.5 亿元、净利 2.7 到 3.1 亿元，富乐德净利 1.8 到 2.2 亿元，汉钟精机快报营收约 15 亿元、净利约 2.8 亿元。

但把剩下十家只披露到一季报的公司放进来，图形就变了：四家净利润下滑，两家由盈转亏。同一层、同一季度，方向完全相反。

四、最漂亮的预告，要先扣掉非经常性收益

江丰电子净利增长 90% 到 122%，看起来非常漂亮。但公告里写得很清楚，非经常性损益大约 3.3 亿元，主要来自战略投资公允价值变动、转让联营企业部分股权、平板显示靶材业务整合和政府补助。

把这 3.3 亿元拿掉，扣非净利只有 1.8 到 2.3 亿元，增长可能只有 2.37% 到 30.81%。一个是翻倍，一个可能只是小幅增长。资产增值当然是真实财报，但要看零部件业务本身，必须看扣非。

这也是半导体零部件投资里最重要的口径：归母净利可以反映财报结果，扣非净利才更接近主营业务的现金含量。

五、扣非之后，还要看存货和现金流

零部件公司在验证期很容易出现一个报表特征：订单看起来多，存货先起来，现金流却没有同步变好。原因是客户验证、备货和批量交付之间有时间差，企业要先买材料、做加工、占用产能，再等客户确认和回款。

如果一家公司的利润增长来自规模效应，同时经营现金流改善、存货周转稳定，这种增长质量更高；如果利润来自非经常性收益，主营业务毛利率没有改善，存货和应收还继续上升，风险就需要单独计价。

半导体零部件不是普通制造业，客户一旦导入，订单粘性很强；但导入之前，研发、验证和库存都会消耗现金。看报表时，不能只盯利润表，还要把存货、应收、合同负债和资本开支放在一起。

六、不是所有扩产都能立刻变成利润

科马科技一季度营收 2.7 亿元，同比增长约 9%，但净利约 4,588 万元，下滑 47%。原因是研发费用一年增长 62%，新基地投产带来折旧，叠加存货减值和并购子公司亏损。

华亚智能更直接，一季度营收 1.73 亿元，下滑 25%；净利 780 万元，下滑 55%；扣非 433 万元，下滑 73%。正帆科技一季度由盈转亏，亏损约 2,560 万元，还背着收购形成的 6.1 亿元商誉。致纯科技营收 6.2 亿元，下滑 14.7%，净利亏损 7,885 万元。

半导体零部件不是水涨船高。有人扩产兑现了，有人扩早了，有人还在研发和折旧阶段，有人被并购和商誉拖住。

七、最难国产化的环节仍然低于一成

等离子体射频电源系统 2024 年本土供应比例不足 12%；高端真空泵中的干泵、分子泵、低温泵低于 10%；刻蚀用硅零部件 2026 年国内市场约 70 亿元，本土供应同样不到一成。

更极端的是静电吸盘。它要在真空环境里把晶圆吸住，同时控温，高端一套 100 万到 200 万元，国内中低端也要几十万元。本土供应比例有不同公开口径，但都在个位数。

成熟制程的零件供应已经过半，但七纳米以下核心零件还不到一成。真正的本土化难点，不在“有没有供应商”，而在核心工艺节点、客户验证和批量稳定供货。

八、科创板新股说明：估值买的是验证结果，不是当前报表

2026 年 1 月，一家等离子体射频电源公司登陆科创板，发行价 92.18 元，发行市盈率 48.39 倍，开盘冲到 310 元，市值一度 232 亿元。它是 2024 年国内这个环节份额第一的公司，2022 到 2024 年营收从 1.6 亿元做到 5.4 亿元，净利从 2,639 万元做到 1.4 亿元。

但到 8 月 7 日收盘，股价约 273 元，市值约 185 亿元，滚动市盈率仍有 192 倍。上市后第一份季报却显示，一季度营收 1.24 亿元，下滑 12%，净利 1,758 万元。公司解释是设备客户采购量要跟着晶圆厂订单和验证导入进度动态调整。

192 倍估值对应这样一份季报，说明市场买的不是现在的利润，而是两三年后的产能、验证和批量供货。

九、客户验证比产能更稀缺

零部件行业真正稀缺的不是厂房和机床，而是客户验证资格。晶圆厂和设备厂对稳定性的要求极高，一个小零件失效，可能导致整台设备停机，甚至影响整批晶圆良率。

因此客户不会因为价格便宜就立刻切换供应商。供应商要经历送样、测试、小批量、稳定批量、再扩大份额的过程，每一步都要用时间换信任。这个过程慢，却也是进入后最强的壁垒。

这就解释了为什么一家公司短期营收不一定好看，但只要核心产品进入头部客户验证，估值会提前反应；反过来，只有扩产公告但没有客户验证进展，产能再多也可能变成折旧压力。

十、为什么偏偏今年开始兑现

国内半导体设备和零部件公司加起来 300 多家，整机厂大约 80 到 100 家，零部件供应商 200 多家。大部分零部件企业没上市，注册行业也常常是机械制造、电子元件、新材料，而不是半导体设备，因此长期不在主流榜单里。

零部件从送样、客户验证到批量供货，中间通常要 2 到 3 年。今天看到的收入，往往对应两三年前晶圆厂扩产时开始做的验证。英杰电气给出的时间差很清楚：今年 1 到 5 月新增订单 9.25 亿元，增长 96.65%，但一季度营收 3.02 亿元，下滑 7.13%，净利 3,633 万元，下滑 28.05%。

订单在前，利润在后。现在利润好看的，对应的是过去的验证；现在订单好看的，要等到后年才更充分进入报表。

十一、设备八九成成本是零件，但钱还没真正落到国内这一层

整机厂这边，中微公司上半年预告净利 27 到 29 亿元，拓荆科技扣非 8.6 到 9.6 亿元，北方华创单季度净利就有 16.35 亿元。零部件这边，最大的江丰电子 4.8 到 5.6 亿元还要扣掉约 3.3 亿元非经常性收益，富创精密 1.2 到 1.5 亿元。

一台设备 80% 到 90% 成本是买零件，可上市零部件公司加起来赚得还没有一家整机厂多。这说明钱大部分还没落到国内这一层，要么留给进口零件，要么分散在 200 多家未上市小厂身上。

真正看点不是这一层已经赢了，而是它刚拿到上桌资格。

十二、接下来只看三件事

第一，看陶瓷封装相关公司半年报，一季度约 79% 的营收增速能不能延续。第二，看等离子体射频电源和高端真空泵这两个环节，本土供应比例能不能从一成出头继续往上走，要看新增中标和批量供货公告，不看送样。

第三，看订单和利润之间两到三年的时间差能不能缩短。订单增长 96% 而利润下滑的公司，是观察对象。下半年新一轮晶圆厂扩产招标，是直接催化因素。

十三、这轮周期要把“替代率”和“利润率”分开

半导体零部件的本土替代率提升，并不必然等于利润率同步提升。早期为了进入客户体系，供应商可能要给出更低价格、更长账期和更多售后支持，毛利率反而会承压。

真正质量更高的阶段，是客户验证完成后，供应份额稳定上升，研发费用率和折旧率被收入摊薄，售后问题减少，毛利率和净利率同时改善。也就是说，替代率是第一阶段，利润率才是第二阶段。

现在行业正处在两阶段之间。有些公司已经进入第二阶段，有些公司还停留在送样和扩产阶段。把这两类公司混在一起，会把产业逻辑看得过于顺滑。

最简单的判断标准，是收入增长能不能同时带来扣非净利增长和现金流改善。只有这三项同时出现，才说明替代已经从故事变成经营结果。

十四、结论：零部件不是普涨，而是验证节点分层

半导体零部件的机会真实存在，因为一台设备八九成成本来自这一层，关键环节本土供应比例还很低。但机会不是平均分布的。

未来两三年，有明确验证节点、独立披露口径、能够从送样走到批量供货的公司，会和只持有概念的公司走成两条线。看这一层，只有一把尺子：扣非净利，以及它背后的产能和客户验证节点。